JD又硬又粗又大又长受不了,偷偷干夜夜拍,国产亚洲精品免费,2019天天操

技術(shù)文章

Technical articles

當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章你并不了解小型濺射儀

你并不了解小型濺射儀

更新時(shí)間:2023-04-01點(diǎn)擊次數(shù):1191
小型濺射儀的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會(huì)受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用,產(chǎn)生E(電場(chǎng))×B(磁場(chǎng))所指的方向漂移,簡稱E×B漂移,其運(yùn)動(dòng)軌跡近似一條擺線。
  若為環(huán)形磁場(chǎng),則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運(yùn)動(dòng),它們的運(yùn)動(dòng)路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar來轟擊靶材,從而實(shí)現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠(yuǎn)離靶表面,并在電場(chǎng)E的作用下沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。
  小型濺射儀包括:氣路、真空系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。其中:
  (1)氣路系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射系統(tǒng)應(yīng)包括一套完整的氣路系統(tǒng)。但是,與PECVD系統(tǒng)不同的是,PECVD系統(tǒng)中,氣路中為反應(yīng)氣體的通道。而磁控濺射系統(tǒng)氣路中一般為Ar、N2等氣體。這些氣體并不參與成膜,而是通過發(fā)生輝光放電現(xiàn)象將靶材原子轟擊下來,使靶材原子獲得能量沉積到襯底上成膜。
  (2)真空系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射沉積薄膜前需要將真空腔室抽至高真空。因此,其真空系統(tǒng)也包括機(jī)械泵、分子泵這一高真空系統(tǒng)。
  (3)循環(huán)水冷卻系統(tǒng):工作過程中,一些易發(fā)熱部件(如分子泵)需要使用循環(huán)水帶走熱量進(jìn)行冷卻,以防止部件損壞。
  (4)控制系統(tǒng):綜合控制PECVD系統(tǒng)各部分協(xié)調(diào)運(yùn)轉(zhuǎn)完成薄膜沉積,一般集成與控制柜。




91av视频在线免费观看| 黑人中文字幕在线精品视频站| 人妻激情偷乱一区二区三区| 欧美麻豆久久久久久中文| 极品美女一区二区三区| 亚洲日韩精品一区二区三区无码| 久996视频精品免费观看| 亚洲日本三级| 91国内外精品自在线播放| 久久久久人妻一区精品色| 偷偷色噜狠狠狠狠的777米奇| 精品国产成人亚洲午夜福利| 午夜三级理论在线观看视频| 欧美激情一区二区三区视频| 亚洲国产成人私人影院| 国产日韩久久久久久精品影院| 久草视频在线观看| 18观看免费永久视频| 最新精品视频在线观看| 国产精品xxx| 暴虐SM调教A片| 国产99久一区二区三区A片| 宝贝把腿开大让我添添电影| japanese50mature日本亂倫| 2022国产精品福利在线观看| 男男调教后菊撑开扩张A片| 荫蒂添的好舒服视频囗交| 国产日韩欧美一区二区三区| aa毛片免费全部播放完整| 伊色综合久久之综合久久| 重口老熟七十路黑崎礼子| 亚洲B2B网站| 久久久91精品国产一区二区三区| 性加拿大高清xxxxx| 金鸽源赛鸽公棚春棚| 91福利电影福利在线观看| 国产精品第二页| 亚洲一区网站| 欧美在线播放成人免费| 国内2018自拍视频在线| 99久久伊人|